最先端の技術をクローズアップすると、
そこにTSSのテクノロジーがあります。

「測る技術」をベースに、高精度をソフトウェアで実現する。

TSSの原点は、マイクロメートル以下の誤差をも見逃すことのない超高度な計測技術です。
数マイクロメートルの差が製品の完成度に大きな影響を与えてしまう半導体製造装置の
制御ソフト開発も、この「測る技術」があってこそ、実現しているのです。